成像原理：

掃描電鏡的成像是靠掃描作用實現(xiàn)的。掃描發(fā)生器同時控制高能電子束和熒光屏中的電子束“同步掃描”，當(dāng)電子束在樣品上進(jìn)行柵格掃描時，在熒光屏上也以相同的方式同步掃描，因此“樣品空間”上的一系列點就與“顯示空間”逐點對應(yīng)。換言之，樣品上電子束的各個位置與熒光屏上的各點確立了嚴(yán)格的對應(yīng)關(guān)系。樣品表面被電子束掃描，激發(fā)出各種物理信號，其強(qiáng)度與樣品的表面特征有關(guān)，這些信號通過探測器按順序、成比例地轉(zhuǎn)為視頻信號，經(jīng)過放大，用來調(diào)制熒光屏對應(yīng)點的電子束強(qiáng)度，即光點的亮度，這就形成了掃描電鏡的圖像。而圖像上強(qiáng)度的變化反映出樣品的特性。掃描電鏡成像雖然不同光鏡和透射電鏡那樣直接由物體發(fā)出的光線或電子束成像，這種成像過程如同利用信號探測器作為攝像機(jī)，對樣品表面逐點拍攝，把各點產(chǎn)生的信號轉(zhuǎn)換到熒光屏上成像。